MgF2薄膜對(duì)熒光薄膜紫外響應(yīng)靈敏度的增強(qiáng)特性研究

2024年3月1日發(fā)(作者：曹操資料)

第３４卷，第３期　２　０　１　４年３月　光譜學(xué)與光譜分析　Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ　ａｎｄ　Ｓｐｅｃｔｒａｌ　Ａｎａｌｙｓｉｓ　Ｖｏ１．３４，Ｎｏ．３，ｐｐ７０９—７１２　Ｍａｒｃｈ，２０１４　ＭｇＦ２薄膜對(duì)熒光薄膜紫外響應(yīng)靈敏度的增強(qiáng)特性研究　盧忠榮，倪爭(zhēng)技，陶春先　，洪瑞金，張大偉，黃元申　上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院，上海市現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，教育部光學(xué)儀器與系統(tǒng)工程中心，上海２０００９３　摘　要在光敏面上鍍制熒光薄膜將紫外光轉(zhuǎn)變?yōu)榭梢?jiàn)光，是提高ＣＣＤ和ＣＭＯＳ圖像傳感器紫外響應(yīng)靈敏　度的一種有效方法。針對(duì)熒光薄膜入射界面的散射和反射損耗降低熒光發(fā)光強(qiáng)度的分析，研究在熒光薄膜　上鍍制增透膜和阻隔膜的靈敏度增強(qiáng)特性。采用真空熱阻蒸發(fā)的鍍膜方法分別制備了單層Ｌｕｍｏｇｅｎ熒光薄　膜和ＭｇＦ２／Ｌｕｍｏｇｅｎ復(fù)合膜。利用原子力顯微鏡，紫外可見(jiàn)近紅外分光光度計(jì)，熒光光譜儀對(duì)兩種樣品的　表面粗糙度，漫反射和透射光譜以及熒光發(fā)光光譜分別進(jìn)行對(duì)比測(cè)試分析。結(jié)果表明：ＭｇＦｚ保護(hù)層降低了　表面粗糙度，減小了入射界面的漫反射損耗，對(duì)５００　７００　ｎｒｎ的可見(jiàn)波段具有明顯增透作用，也增強(qiáng)了　Ｌｕｍｏｇｅｎ＇￣膜對(duì)紫外波段受激發(fā)射的熒光強(qiáng)度；同時(shí)，ＭｇＦ２薄膜的抗損傷及水汽隔離性能對(duì)熒光薄膜紫外　響應(yīng)能力具有保護(hù)作用，為延長(zhǎng)紫外ＣＣＤ薄膜及器件的工作壽命提供了有效手段。　關(guān)鍵詞熒光薄膜；ＭｇＦ２；紫外響應(yīng)；靈敏度；ＵＶ　ＣＣＤ　文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：Ａ　ＤＯＩ：１０．３９６４／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００—０５９３（２０１４）０３—０７０９—０４　中圖分類(lèi)號(hào)：ＴＮ２４７　并實(shí)現(xiàn)對(duì)熒光膜層和氧化物的有效隔離，整體提高熒光薄膜　引　言　量子裁剪（ｑｕａｎｔｕｍ　ｃｕｔｔｉｎｇ）是指一個(gè)高能光子進(jìn)入某些　特定材料（如稀土元素?fù)诫s物）之后變成兩個(gè)或者多個(gè)低能光　子，或者多個(gè)低能光子變成一個(gè)高能光子的現(xiàn)象。基于這種　材料的光電探測(cè)器件能夠提高對(duì)紅外或紫外波段的響應(yīng)能　力，從而拓寬器件的光電響應(yīng)范圍以及轉(zhuǎn)換效率，在太陽(yáng)能　甚至ＣＣＤ探測(cè)器的紫外響應(yīng)靈敏度。　１原理與實(shí)驗(yàn)部分　１．１膜系設(shè)計(jì)　ＭｇＦｚ薄膜透明波段為１２０￣８００　ｎｌＴｌ，在紫外、可見(jiàn)以及　紅外光范圍都具有很寬的透射窗口，是一種優(yōu)秀的紫外增透　電池及硅基探測(cè)器等領(lǐng)域有重要的應(yīng)用價(jià)值。基于Ｌｕｍｏｇｅｎ　或Ｃｏｒｏｎｅｎｅ等有機(jī)材料的熒光薄膜具有較強(qiáng)的紫外量子裁　剪效果，廣泛應(yīng)用于制備ＣＣＤ／ＣＭＯＳ等硅基紫外響應(yīng)成像　器件＿１　］。據(jù)報(bào)道基于Ｌｕｍｏｇｅｎ薄膜的ＣＣＤ在紫外波段的量　薄膜材料，同時(shí)具有很低的光學(xué)折射率、易于成膜、機(jī)械強(qiáng)　度大、穩(wěn)定性好等性能＿１　，因此適合與紫外響應(yīng)熒光薄膜一　起制備復(fù)合膜系結(jié)構(gòu)。石英基片或硅探測(cè)器光敏元表面鍍制　ＭｇＦ２／Ｌｕｍｏｇｅｎ的復(fù)合膜系結(jié)構(gòu)如圖１所示。　子效率可以提高到１０　以上ｌ５　Ｊ。　Ｌｕｍｏｇｅｎ薄膜作為有機(jī)薄膜在力學(xué)及穩(wěn)定性上也存在　缺點(diǎn)。首先，長(zhǎng)期暴露在紫外線輻射下或暴露在空氣中都容　易受到污染和破壞，導(dǎo)致熒光效果變差，壽命變短＿９　；其　次，真空蒸發(fā)制備的Ｌｕｍｏｇｅｎ薄膜表面粗糙度大，ＣＣＤ接　收的有效能量顯著下降。　針對(duì)上述有機(jī)熒光薄膜在紫外響應(yīng)靈敏度降低的不利因　素，本文利用導(dǎo)納匹配法設(shè)計(jì)一種新的ＭｇＦ２／Ｌｕｍｏｇｅｎ雙層　膜。通過(guò)ＭｇＦ２的增透和隔離效應(yīng)，降低探測(cè)器的表面反射　收稿日期：２０１３—０５－３０．修訂日期：２０１３—０８—２７　Ｐｏｌｙｓｉｌｉ￣ｏｎ　Ｇａｔｅ　Ｆｉｇ．１　Ｔｈｅ　Ｍ　／Ｌｕｍｏｇｅｎ　ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ　Ｏｉｌ　ＣＣＤ　ｉ瑚ｇｅ　ｓｅｎｓｏｒ　基金項(xiàng)目：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目（６１２０５１５６，１１１０５１４９），國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)（２０１１ＹＱ１５００４０），上海市超精密光學(xué)加工與檢　測(cè)服務(wù)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目（１１ＤＺ２２９０３０１）資助　作者簡(jiǎn)介：盧忠榮，１９８８年生，上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院碩士研究生　＊通訊聯(lián)系人　ｅ－ｍａｉｌ：ｔａｏ＠ｕｓｓｔ．ｅｄｕ．ｃｎ　ｅ－ｍａｉｌ：ｌｚｒ８８２７ｇｏｏｄ＠１６３．ｃｏｍ　

第３期　光譜學(xué)與光譜分析　／Ｉｌｏ【ｓ∞一ｌＩＩ∞是　亡ＩＡ　８島　７１１　加　０　∞　加　ｍ　５　０　復(fù)合薄膜的透過(guò)率也比單層薄膜的要高。測(cè)試中透過(guò)率包含　了紫外透射和熒光發(fā)射兩個(gè)部分，但在同等能量照射下仍有　更多的光子穿透熒光膜層被探測(cè)器接收，復(fù)合膜層對(duì)熒光發(fā)　光效率有較為明顯的提高和改善。　從圖５的反射光譜曲線看，在２２０￣７００　ｎｒｎ波段，復(fù)合　∞　鯽　∞　（２５０　ｎｌＴｌ處為吸收峰位置）激發(fā)薄膜樣品得到歸一化的發(fā)射　∞　光譜，如圖７所示。可以看出，單層Ｌｕｍｏｇｅｎ薄膜和復(fù)合薄　膜的發(fā)射波段集中在５１０￣６００　ｎｒｎ波段，主發(fā)射峰在５２８　ｎｌＴｌ　附近，次峰約為５７０　ｎｌＴｌ，與實(shí)際觀察到的黃綠光相吻合。而　復(fù)合薄膜的熒光強(qiáng)度明顯比單層薄膜的大，峰值能量相對(duì)單　層薄膜的提高了２Ｏ　以上。其他紫外波段也有類(lèi)似趨勢(shì)。　薄膜的漫反射明顯降低，而在近紅外區(qū)跟單層薄膜基本一　致，這與理論計(jì)算結(jié)果有類(lèi)似趨勢(shì)。首先由于理想界面下　ＭｇＦ２／Ｌｕｍｏｇｅｎ具有本征的減反效果，其次在表面粗糙度較　大的Ｌｕｍｏｇｅｎ膜層上ＭｇＦ２膜層進(jìn)一步降低了這個(gè)接收界　面的粗糙度。兩者共同實(shí)現(xiàn)了漫反射降低和紫外光增透的結(jié)　果。　，Ⅱ０一　ｅ０訥　《　∞　∞　∞　柏　∞　４００　６０ｏ　８００　Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ／ｎｍ　Ｆｉｇ．４　Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　ｓｐｅｃｔｒａ　ｏｆ　Ｌｕｍｏｇｅｎ　ａｎｄ　ＭｇＦ２／Ｌｕｍｏｇｅｎ　４００　６００　８００　１　０００　Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ／ｎｍ　Ｆｉｇ．５　Ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙ　ｓｐｅｃｔｒａ　ｏｆＬｕｍｏｇｅｎ　ａｎｄ　Ｍ　／Ｌｕｍｏｇｅｎ　綜合分析之，ＭｇＦｚ薄膜可以作為Ｌｕｍｏｇｅｎ紫外增強(qiáng)薄　膜的保護(hù)膜，它不但降低了表面粗糙度，減小了漫反射，還　對(duì)寬波段起到增透作用。　２．３光致發(fā)光光譜　波長(zhǎng)范圍為２２０￣７００　ｎｒｆｌ的吸收光譜如圖６所示，單層　薄膜和復(fù)合薄膜的吸收曲線的趨勢(shì)基本保持一致，吸收峰大　約在２５０，３４０和４００　ｎｌＴｌ處。由圖可知所用熒光材料的吸收　邊在４６０　ｎｒｎ左右。　為了比較單層Ｌｕｍｏｇｅｎ薄膜和復(fù)合薄膜的熒光強(qiáng)度，　在保持測(cè)試條件一致的情況下，用波長(zhǎng)為２５０　Ｄｉｎ的紫外光　３００　４００　５００　６００　７００　Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ／ｎｍ　Ｆｉｇ．６　Ａｂｓｏｒｐｔ．　．ｉｏｎ　對(duì)　ｓｐｅｃｔ曲Ｉｌ　＿ＩｒＩ—ａ０　∞ａ　ｏｆ　們—Ｌｕｍｏｇｅｎ　ａｎｄ　—口　口　Ｎ一一時(shí)　ｕｏＺ一　ＭｇＦ２／Ｌｕｍｏｇｅｎ　Ｏ　Ｏ．８　０．６　０．４　Ｏ－２　０　４００　４５０　５００　５５０　６００　６５０　７００　Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｌａｎｍ　ＭｇＦ２／Ｌｕｍｏｇｅｎ　ｂｙ　２５０　ｎｌｎ　ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｃ　ｕｌｔｒａ－ｖｉｏｌｅｔ　ｌｉｇｈｔ　圖７和圖４的發(fā)射光譜和透射光譜表明了復(fù)合薄膜對(duì)熒　光能量探測(cè)的有效提高能力。由于復(fù)合薄膜的吸收大散射　小，在薄膜的熒光發(fā)光效率確定情況下有效增強(qiáng)了發(fā)射光子　數(shù)，使得ＣＣＤ探測(cè)器具有更高的響應(yīng)靈敏度。　３結(jié)論　理論分析和實(shí)驗(yàn)測(cè)試表明，ＭｇＦｚ膜層在熒光薄膜表面　不僅對(duì)寬波段光譜起到增透作用，而且改善膜層表面的粗糙　度進(jìn)而降低表面散射損耗，提高ＣＣＤ探測(cè)器接收的光子強(qiáng)　度。ＭｇＦｚ膜層可以防止熒光層受到破壞和污染，同時(shí)具有　水汽和氧化隔離作用，是一種有效的物理和化學(xué)阻隔薄膜。　本研究在一定程度上對(duì)紫外增強(qiáng)型成像薄膜及在硅基探測(cè)器　性能改善上提供理論指導(dǎo)和技術(shù)支持。　

７１２　光譜學(xué)與光譜分析　第３４卷　Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅｓ　Ｗｅｄｄｉｎｇ，Ｓｔｅｐｈｅｎ　Ｒ　Ｃｌａｒｋｅ，ｅｔ　ａ１．ＳＰＩＥ，２００５，５６４９：６１６　［１］　Ａｌｅｃ　Ｄｅｓｌａｎｄｅｓ，Ａ　Ｂｒｕｃｅ　ｆａｎ，Ｘｕ　Ｘｉａｏｘｕａｎ，Ｗａｎｇ　Ｂｉｎ，ｅｔ　ａ１．ＳＰＩＥ，２００９，７３８４：２６１．　［２］　Ｚｈｅｎｇ　Ｙｉ［３］　ＷＡＮＧ　Ｌｉ－ｈｕｉ，ＷＡＮＧ　Ｘｉａｏ－ｋｕｎ，ＣＨＥＮ　Ｂｏ（王麗輝，王孝坤，陳波）．Ｏｐｔｉｃ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ（光學(xué)技術(shù)），２００６，３２：４７９．　—ｑｕｎ，ＤＩＮＧ　Ｚｈｉ—ｔｉａｎ（杜晨光，孫利群，丁志田）．Ｏｐｔｉｃ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ（光學(xué)技術(shù)），２０１０，３６（５）：７５３．　［４］　ＤＵ　Ｃｈｅｎ—ｇｕａｎｇ，ＳＵＮ　ＬｉＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ．Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　ｎｏｔｅ　ｏｎ　ＵＶ　Ｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎ　Ｃｏａｔｉｎｇｓ．Ｅ２ｖ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ　Ｌｉｍｉｔｅｄ，２００３，５０７．　［５］　Ｅ２ｖ　ＡＮ　Ｘｉｎ，ｚＨＡＮＧ　Ｄａ—ｗｅｉ，ＨＵＡＮＧ　Ｙｕａｎ—ｓｈｅｎ，ｅｔ　ａｌ（田　鑫，張大偉，黃元申，等）．Ｌａｓｅｒ　Ｊｏｕｒｎａｌ（激光雜志），２００８，２９（５）：９．　［６］　ＴＩｅｘａｎｄｅｒ　Ｓ　Ｊ．Ｐｈｏｓｐｈｏｒ　Ｃｏａｔｅｄ　ＵＶ－Ｒｅｓｐｏｎｓｉｖｅ　Ｇ２Ｄ　Ｉｍａｇｅ　Ｓｅｎｓｏｒｓ，Ｗａｔｅｒｌｏｏ：Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｗａｔｅｒｌｏｏ，２００２．　［７］　Ａｌｓｓｅｙ　Ｐ　Ｆ，ＭｃＣｌａｎｄｉｓｓ　Ｓ　Ｒ，Ｆｅｌｄｍａｎ　Ｐ　Ｄ，ｅｔ　ａ１．Ａｐｐ１．Ｏｐｔ．，１９９４，３３（１３）：２５３４．　［８］　Ｍｏｒｉｃｈａｅｌ　Ａ　Ｄａｍｅｎｔｏ，Ａｎｄｒｅｗ　Ａ　Ｂａｒｃｅｌｌｏｓ，Ｗｉｌｌｉａｍ　Ｖ　Ｓｃｈｅｍｐｐ．ＳＰＩＥ，２０１１，２４１５：２０４．　［９］　ＭｉＴ　Ｉ　，Ｗｅｄｄｉｎｇ　Ａ　Ｂ，ｅｔ　ａ１．Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｓｃｉｅｎｃｅ，２００７，６０１：５７４４．　ＥｌＯ］　Ｋｅｏｕｇｈ　Ｓ　Ｊ，Ｈａｎｌｅｙ　ｃｈａｒｄ　Ｃ　Ｃａｔｕｒａ，Ｄｅｘｔｅｒ　Ｗ　Ｄｕｎｃａｎ，Ｌａｗｒｅｎｃｅ　Ｓｈｉｎｇ，ｅｔ　ａ１．ＳＰＩＥ，１９９８，３４４５：２９１．　Ｅｌ１２　ＲｉＳｈｕ－ｚｈｅｎ，ＺＨＡＯＺｕ－ｘｉｎ，ＳＨＡＯ　Ｊｉａｎ－ｄａ（尚淑珍，趙祖欣，邵建達(dá)）．ＨｉｇｈＰｏｗｅｒＬａｓｅｒ　ａｎｄＰａｒｔｉｃｌｅＢｅａｍｓ（強(qiáng)激光和粒子束），　Ｅ１２］　ＳＨＡＮＧ　２００８，２０（３）：３９７．　Ｅ１３］　ＴＡＮＧ　Ｊｉｎ－ｆａ，ＧＵ　Ｐｅｉ—ｆｕ，Ｉ　ＩＵ　Ｘｕ，ｅｔ　ａ１（唐晉發(fā)，顧培夫，劉旭，等）．Ｍｏｄｅｒｎ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｔｈｉｎ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（現(xiàn)代光學(xué)薄膜技術(shù)）．Ｈａｎｇ—　ｚｈｏｕ：Ｚｈｅｊｉａｎｇ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　Ｐｒｅｓｓ（杭州：浙江大學(xué)出版社），２００６．２９．　　Ａ　Ｇ．Ｔｅｃｈｎｉｃａ１　Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ：Ｌｕｍｏｇｅｎ　Ｒ　Ｙｅｌｌｏｗ　Ｓ　０７９０．Ｇｅｒｍａｎｙ：ＢＡＳＥ　ＳＥ，２００５．１．　［１４］　ＢａｓｆＴｈｅ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ　ｏｆ　ＵＶ—Ｒｅｓｐｏｎｓｉｖｅ　Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ　Ｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔ　ｏｆ　Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ　Ｃｏａｔｉｎｇ　Ｆｉｌｍｓ　ｂｙ　ＭｇＦ２　Ｌａｙｅｒ　ＺＨＡＮＧ　Ｄａ－ｗｅｉ，ＨＵＡＮＧ　Ｙｕａｎ－ｓｈｅｎ　ＬＵ　Ｚｈｏｎｇ－ｒｏｎｇ，ＮＩ　Ｚｈｅｎｇ－ｊｉ，ＴＡＯ　Ｃｈｕｎ－ｘｉａｎ　，ＨＯＮＧ　Ｒｕｉ－ｊｉｎ，　Ｓｈａｎｇｈａｉ　Ｋｅｙ　Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ　ｏｆ　Ｍｏｄｅｒｎ　Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍ，Ｓｃｈｏｏｌ　ｏｆ　Ｏｐｔｉｃａｌ—Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　ａｎｄ　Ｃｏｍｐｕｔｅｒ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｓｈａｎｇｈａｉ　ｆｏｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｓｈａｎｇｈａｉ　２０００９３，Ｃｈｉｎａ　Ａｂｓｔｒａｃｔ　Ａ　ｌｏｗ　ｃｏｓｔ　ａｎｄ　ｌｅｓｓ　ｃｏｍｐｌｉｃａｔｅｄ　ｅｘｐａｎｓｉｏｎ　ａｐｐｒｏａｃｈ　ｏｆ　ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ　ｒｅｓｐｏｎｓｅｓ　ｗｉｔｈ　ａ　Ｌｕｍｏｇｅｎ　ｐｈｏｓｐｈｏｒ　ｃｏａｔｉｎｇ　ｗａｓ　ａｄｏｐｔｅｄ．ａｓ　ｔｈｅｙ　ｉｎｃｒｅａｓｅｄ　ｔｈｅ　ｑｕａｎｔｕｍ　ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　ｏｆ　ＣＣＤ　ａｎｄ　ＣＭＯＳ　ｄｅｔｅｃｔｏｒｓ　ｉｎ　ｕｌｔｒａ－ｖｉｏｌｅｔ　ｂｙ　ａｂｓｏｒｂｉｎｇ　ＵＶ　ｌｉｇｈｔ　ａｎｄ　ｔｈｅｎ　ｒｅ－　ｅｍｉｔｔｉｎｇ　ｖｉｓｉｂｌｅ　ｌｉｇｈｔ。Ｉｎ　ｔｈｉｓ　ｐａｐｅｒ，ｔｈｅ　ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ　ｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔ　ｏｆ　ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ　ｃｏａｔｉｎｇｓ　ｗａｓ　ｓｔｕｄｉｅｄ　ｂｙ　ａｄｄｉｎｇ　ａｎ　ａｎｔｉ—ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ　ｆｉｌｍ　ｏｒ　ｂａｒｒｉｅｒ　ｆｉｌｍ　ｔｏ　ｒｅｄｕｃｅ　ｔｈｅ　ｌｏｓｓ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ　ａｎｄ　ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ　ｏｎ　ｔｈｅ　ｉｎｃｉｄｅｎｔ　ｉｎｔｅｒｆａｃｅ．Ｔｈｅ　Ｌｕｍｏｇｅｎ　ａｎｄ　ＭｇＦｚ／Ｌｕｍｏｇｅｎ　ｆｉｌｍ　ｗｅｒｅ　ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ　ｏｎ　ｑｕａｒｔｚ　ｇｌａｓｓｅｓ　ｂｙ　ｐｈｙｓｉｃａｌ　ｖａｃｕｕｍ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ．Ｔｈｅ　ｓｕｒｆａｃｅ　ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ，ｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ　ｓｐｅｃｔｒｕｍ，ｒｅｆｌｅｃ—　ｔａｎｃｅ　ｓｐｅｃｔｒｕｍ　ａｎｄ　ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ　ｅｍｉｓｓｉｏｎ　ｓｐｅｃｔｒｕｍ　ｗｅｒｅ　ｏｂｔａｉｎｅｄ　ｂｙ　ａｔｏｍｉｃ　ｆｏｒｃｅ　ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ（ＡＦＭ），ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ　ａｎｄ　ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ　ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ，ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ｔｈｅ　ｒｅｓｕｌｔｓ　ｉｎｄｉｃａｔｅｄ　ｔｈａｔ　ＭｇＦ２　ｆｉｌｍ　ｈａｄ　ｏｂｖｉｏｕｓ　ｐｏｓｉｔｉｖｅ　ｅｆｆｅｃｔ　ｏｎ　ｒｅｄｕｃｉｎｇ　ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ　ａｎｄ　ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ　ｌｏｓｓ　ｉｎ　５００￣７００　ｒ蚰，ａｎｄ　ｅｎｈａｎｃｉｎｇ　ｔｈｅ　ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｌｕｍｏｇｅｎ　ｃｏａｔｉｎｇ　ｉｎ　ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ　ｓｐｅｃｔｒｕｍ．Ｍｅａｎｗｈｉｌｅ，ｔｈｅ　ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ　ｅｍｉｓｓｉｏｎ　ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ　ｈａｄ　ａ　ｓｕｂｓｔａｎｔｉａｌ　ｉｎｃｒｅａｓｅ　ｂｙ　ｓｍｏｏｔｈｉｎｇ　ｔｈｅ　ｆｉｌｍ　ｓｕｒｆａｃｅ　ａｎｄ　ｔｈｕｓ　ｒｅｄｕｃｉｎｇ　ｔｈｅ　ｌｉｇｈｔ　ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ．Ａｔ　ｔｈｅ　ｓａｍｅ　ｔｉｍｅ，ｔｈｅ　ＭｇＦｚ　ｌａｙｅｒ　ｃｏｕｌｄ　ｐｒｏｔｅｃｔ　Ｌｕｍｏｇｅｎ　ｃｏａｔｉｎｇ　ｆｒｏｍ　ｄａｍａｇｉｎｇ　ａｎｄ　ｃｏｎｔａｍｉｎａｔｉｏｎ，ｗｈｉｃｈ　ｇｉｖｅ　ａ　ｐｒｏｌｏｎｇ　ｌｉｆｅｔｉｍｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ＵＶ—ｒｅｓｐｏｎｓｉｖｅ　ＣＣＤ　ｓｅｎｓｏｒｓ　ｗｉｔｈ　ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ　ｃｏａｔｉｎｇｓ．　Ｋｅｙｗｏｒｄｓ　Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ　ｆｉｌｍｓ；ＵＶ－ｒｅｓｐｏｎｓｉｖｅ；ＭｇＦ２　ｆｉｌｍ；Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ；ＵＶ　ＣＣＤ　（Ｒｅｃｅｉｖｅｄ　Ｍａｙ　３０，２０１３；ａｃｃｅｐｔｅｄ　Ａｕｇ．２７，２０１３）　＊Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ　ａｕｔｈｏｒ