基于介質超表面結構的窄帶濾光片及其制作方法

（19）中華人民共和國國家知識產權局

（12）發明專利申請

（21）申請號 CN2.5

（22）申請日 2018.07.26

（71）申請人 華中科技大學

地址 430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號

（10）申請公布號

CN109031493A

（43）申請公布日 2018.12.18

（72）發明人 夏金松;袁帥;曾成

（74）專利代理機構 華中科技大學專利中心

代理人 李智

（51）

權利要求說明書 說明書 幅圖

（54）發明名稱

基于介質超表面結構的窄帶濾光片及其制作方法

（57）摘要

本發明公開了一種基于介質超表面的窄帶

濾光片，包括襯底、多層介質薄膜和在薄膜上制

備的介質超表面。介質超表面為亞波長周期性結

構，垂直入射的光束能夠激發介質超表面內部光

場的集群性相干振蕩，并與入射光相互作用改變

光的透射和反射特性。通過對于介質超表面結構

單元和排布的設計，能夠減小諧振的帶寬，從而

實現窄帶濾波的特性。本發明還提供了制作方

法，包括：在襯底上生長多層介質薄膜材料后，