化學試劑的安全使用

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化學試劑的安全使用

在使用化學試劑之前，必須對其安全性能有一個全面的了解，這樣，在使用時，才能有針對性地采取一

些安全防X措施，以避免由于使用不當造成對實驗人員和實驗設備的危害。

一、化學試劑的安全性能分類：

1. 易燃易爆化學試劑

一般閃點<25℃ 極易揮發的液體

遇明火即可燃燒，閃點越低越易燃燒

乙醚、汽油、苯、乙酸乙酯，閃點<-4℃ 2. 有毒化學試劑

一般的化學試劑對人體都有毒害，使用時應避免大量吸入，使用后要及時洗手，吸入少量即中毒的試

劑，稱為劇毒化學試劑。LD50――生物實驗中至死量在50mg/kg以下。

氰化鉀、氰化鈉等氰化物，砷化物（As2O5）。半導體生產中不慎會引起砷中毒、硫酸、二甲酯等。

3. 腐蝕性化學試劑

任何化學試劑碰到皮膚、粘膜、眼睛、呼吸器官時都要及時清洗，特別是接觸腐蝕性極強的化學試劑，

如各種酸和堿：H2SO4、HCL、HNO3、NaOH、KOH。

4. 強氧化性化學試劑

強氧化性化學試劑都是過氧化物或是含有強氧化能力的含氧酸及其鹽如高氯酸及其鹽，高錳酸及其鹽，

重鉻酸及其鹽（重鉻酸鉀），五氧化二磷等。強氧化性化學試劑在適當條件下可放出氧發生爆炸，使用此

類物質時，環境溫度不能高于30℃，通風要良好。

5. 放射性化學試劑（略）。

二、本公司常用化學試劑的使用和安全防護

1. 為什么要使用化學試劑？哪些工序使用？

( 1 )晶片表面清洗：

目的：去除晶片表面的各種沾污

沾污類型：分子型沾污；離子型沾污；原子型沾污

分子型沾污：是天然的和人造的酯類，樹脂和油類等有機物，其分子雜質常借助微弱的靜電引 力與

晶片表面相結合，由于它們不溶于水，使晶片表面成為疏水性，它妨礙了用去離子水除去表面吸附的離

子和金屬雜質。因此必須首先除去。使用汽油（甲苯）、丙酮、無水乙醇。

離子型沾污：晶片表面由于物理吸附或化學吸附的關系，吸附各類離子，引起表面漏電，使器件工作

性能不穩定及變壞。一般用去離子水清洗即可。化學吸附的用酸類清洗。

原子型沾污：晶片存放于空氣中或由于某種腐蝕處理后，表面上沾污了重金屬離子或粒子，它們和晶

片原子相互作用（氧化、還原）而形成金屬原子，嚴重影響器件表面電導和其它性能。通常用強氧化劑

使之氧化而溶解之。雙氧水即是一種強氧化劑，酸性雙氧水（3＃液）能溶解如Mg鎂、Ni鎳、W鎢、Nb

鈮、Pb鉛等重金屬原子，堿性雙氧水（1＃清洗液）可溶解Cu銅、Ag銀、Ni鎳等金屬原子。

總的來講，清洗所用的化學試劑有：汽油、硫酸、雙氧水、氫氧化鈉溶液、丙酮、無水乙醇，有的還

用HF（如陳老師他們）、HCl、NH4OH等。

（2）光刻：

刻圖：主要依賴抗蝕劑――一種高分子聚合物

顯影液配制：NaOH 顯影、洗版

圖形轉換：磷酸、丙酮（大量用）、無水乙醇

洗液：硫酸、高錳酸鉀

腐蝕Cr：高氯酸

將來干法腐蝕要用到如下化學物品：

腐蝕SiO2：CF4、CF4＋H2、C2F6、C3F8（氟里昂）、CHF3、（三氟甲烷）

腐蝕Al Al－Si：CCl4、CCl4＋Cl2、SiCl4、BCl3、

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Al－Cu：BCl3＋Cl 2

（3）鍍膜：

處理靶材，清洗鎢桿，需用到磷酸、NaOH、丙酮、無水乙醇等。

（4）后道：

溶解紅膠：乙二醇獨丁醚、三氯甲烷

粘片：紅膠（過渡用，易于返工取片）

吸聲：綠膠

粘片：703白膠（常用）

成品噴漆：三防漆

工藝試驗：聚酰胺、聚酰亞胺

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2、幾種化學物品的使用注意事項：

（1）BP212正性光致抗蝕劑

該產品屬易燃品（感光中心基因中含有硝基化合物、氨基化合物、重氮化合物），對皮膚和粘膜有刺激

作用。使用時應戴防護目鏡和防護手套，并注意通風，防止濺入眼中，防止直接與皮膚接觸或吸入溶劑

蒸氣，萬一與眼或皮膚接觸，立即用大量水沖洗患處至少15分鐘。

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（2）丙酮、無水乙醇

均屬易燃品，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱，皆能引起燃燒爆炸。使用時不能用

電爐加熱，也不能搖晃容器（以本人為例警告）。若眼睛接觸，用清水沖洗。誤食，飲足量溫水，催吐，

就醫。若引起失火，滅火需用抗溶性泡沫干粉、CO2、砂土。

（3）硫酸

是強酸，也是強氧化劑，對有機物作用劇烈，有腐蝕性，有毒，對皮膚、粘膜、眼、呼吸器官均有強

烈的刺激、灼燒作用。

我們清洗工序幾乎每天都要用硫酸和雙氧水配制清洗液，配制時有強烈反應（沸騰），故使用時千萬要

注意人生防護及實驗室安全。另外，配制洗液（用于泡燒杯及滴瓶等），要用硫酸和重鉻酸鉀（均屬強氧

化劑），當硫酸倒入重鉻酸鉀溶液中時，反應很強烈，有一定的危險性，配制時，一定要格外小心。遠離

明火和熱源，通風要良好，穿防護圍裙、袖套、戴眼罩，必要的防護措施，公司應給予保證。

若酸濺到皮膚上，要用稀堿液（或肥皂）清洗。稀釋時，決不能將水往硫酸里倒（水比硫酸比重小，

易濺出來），而應緩慢地將硫酸往水里倒。一旦發生事故，千萬要鎮靜。

（4）二甲苯、氫氟酸（HF）

二甲苯：是一種無色透明，具有芳香氣味的揮發性液體，工業上主要用于制藥、染料、涂料、塑料等。

作為溶劑或稀釋劑用于油漆、噴漆等。它引起的急性中毒主要表現為：短時間內吸入高濃度后，出現頭

痛、頭暈、無力和四肢麻木等，嚴重時出現昏迷、抽搐。

前不久，大興縣龐各莊鎮一工廠曾發生二甲苯儲存罐發生爆炸。有的說是工人抽煙造成的，有人說是

摩擦靜電造成起火。

氫氟酸（HF）：是一種傷害性嚴重的化學品。接觸患處，引起紅腫、疼痛，擴散很快，若不慎弄到皮

膚上，要先用大量的水沖洗，然后立即上指定的職業病醫院就醫。

我們以前配制SiO2腐蝕液時常用到它，現陳老師他們清洗工序也用它。

使用時戴好防護手套、戴口罩，在通風柜內小心操作。

（5）氯及含氯化合物

將來采用干法腐蝕時，必須要氯氣。氯氣的毒性很大，帶有窒息性，對嗓子有傷害，對設備（如真空

系統機械泵）也有一定的損傷。千萬要注意通風、排氣，加強自我防護。

（6）其它常用化學品

如NaOH（強堿、強腐蝕性、易燃、易燒傷皮膚）、H3PO4（弱酸、易燃）就不詳細講了。

? 在此提醒大家，在取用化學物品時，要輕拿輕放，防止撞擊、拖拉和傾倒（前兩天有就未注意這

點），用完后一定要將瓶蓋擰緊，以免漏氣或再拿時滑落，拿瓶的方法要正確（尤其是很大的大瓶，如硫

酸瓶），要戴防護手套。

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? 上面講了化學試劑的種種危害，是為了提醒大家一定要從思想上重視，時刻注意安全，但決不要形成

恐懼心理，畏首畏尾什么也不敢動了。只要我們認認真真按操作規程去做，是不會有什么問題的。幾十

年來我和各種化學試劑打交道不少，現在不也很好嗎？

3、化學物品的存放和保管

（1）存于專用場地、專用室柜、專人管理

（2）根據物品種類、性質、設置相應的通風、防爆、泄壓、報警、滅火、防曬、調溫、清除靜電等安

全措施。

（3）遇火、遇潮容易燃燒、爆炸或產生有毒氣體的化學危險物品，不得在潮濕、漏雨和低洼容易積水

的地方存放、遠離明火、熱源。

（4）應在陰涼、通風處存放。

（5）入庫時需檢查、登記（包裝合格否？使用安全防護說明標注否？）定期檢查。

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