基于MUMPS的MEMS集成設計方法研究

2023年12月3日發(作者：菠菜湯)

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基于MUMPS的MEMS集成設計方法研究

范真;徐炎冰;丁建寧

【期刊名稱】《制造技術與機床》

【年(卷),期】2006(000)004

【摘 要】基于MUMPS(Multi-Ur MEMS Process:多用戶三層多晶硅表面微加工工藝流程)表面微加工工藝,根據其工藝特征,建立工藝層庫.利用Pro/PROGRAM,編寫自動裝配工藝層模型程序,通過自主開發的軟件,將工藝層模型直接導入到MEMS版圖器中,從而實現三維模型到二維版圖的自動轉換.

【總頁數】3頁(P49-51)

【作 者】范真;徐炎冰;丁建寧

【作者單位】江蘇大學機械工程學院微納米中心,江蘇,鎮江,212013;江蘇大學機械工程學院微納米中心,江蘇,鎮江,212013;江蘇大學機械工程學院微納米中心,江蘇,鎮江,212013

【正文語種】中 文

【中圖分類】TG5

【相關文獻】

1.基于QFD、TRIZ和三次設計的集成化設計方法研究 [J], 侯智;張根保;丁志華;余德忠

2.基于多維集成知識驅動的開口協同設計方法研究 [J], 韓海榮;劉偉;朱佳文;楊亢亢

3.基于硅基MEMS和氮化鋁工藝的高集成度射頻電路設計技術 [J], 4.基于翻轉課堂的數字集成電路設計實驗教學方法研究

——以黑龍江大學為例 [J], 于志鵬;艾春鵬

5.基于MEMS三維異構集成技術的超寬帶開關濾波限幅放大模塊設計 [J], 趙瑪利;趙宇;侯茂輝;李美苓

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