DWDM窄帶濾光片用高精度光學膜厚儀

DWDM窄帶濾光片用高精度光學膜厚儀

孫大雄;李正中

【期刊名稱】《光學儀器》

【年(卷),期】1999(021)004

【摘 要】隨著信息技術的發展對高密度波分復用（ＤＷＤＭ）濾光片的需要越來

越大。而高精度性能的光學薄膜膜厚監控系統是制備ＤＷＤＭ濾光片的關鍵，文中

論述了所建立的制備用１００ＧＨｚ～５０ＧＨｚ ＤＷＤＭ濾光片的高精度高性

能的光學膜膜厚監控系統。該系統的波長分辨力的０．１ｎｍ，重復性精度為±

０．０５ｎｍ，信噪比與溫度漂移特性分別±０．０１％和０．０５％／ｈ。還論

述了該系統的實際實驗結果。

【總頁數】7頁(P130-136)

【作 者】孫大雄;李正中

【作者單位】新科隆株式會社;臺灣中央大學光電科學研究所

【正文語種】中 文

【中圖分類】O484.5

【相關文獻】

1.光學干涉濾光片的石英晶體膜厚自動監控技術 [J], 馬志亮;王夏;閆宏

2.高精度數字式光學膜厚監控系統 [J], 鞠兵;馬孜;蔡邦維

3.高精度光學膜厚控制儀 [J],

4.膜厚監控系統的光譜寬度對波分復用窄帶濾光片性能的影響 [J], 楊毓銘;顧培夫;

劉旭

5.全介質窄帶濾光片膜厚均勻性分析 [J], 湯瑋;李曉平;張曉暉;陳清明